Pompy hybrydowe mają zminimalizować niekorzystny wpływ kondensacji żrących oparów. Są połączeniem dwustopniowej pompy łopatkowej oraz dwustopniowej pompy membranowej wykonanej z materiałów o dużej odporności korozyjnej. Pompa membranowa usuwa gazy ze zbiornika oleju pompy łopatkowej, pozwalając utrzymywać na niskim poziomie ciśnienie cząstkowe oparów rozpuszczalnika. Pompy te są przeznaczone do pracy z liofilizatorami koncentratorami próżniowymi wymagającymi próżni końcowej 10-3 mbar.
